Os tópicos de interesse incluem, mas não estão limitados a: dispositivos que variam em tamanhos de microns a milímetros, técnicas de fabricação compatíveis com IC, outras técnicas de fabricação, medição de micro fenômenos, resultados teóricos, novos materiais e desenhos, micro atuadores, Micro baterias, rolamentos, desgaste, confiabilidade, interconexões elétricas, micro-telemanipulação e padrões apropriados para MEMS. Exemplos de aplicações e dispositivos orientados a aplicações em fluídica, óptica, engenharia biomédica, etc., também são de interesse central.